DSW光刻机中的最短时间自动对准系统

本文研究了最短时问控制系统在 DSW 光刻机自动对准系统中的应用问题。研究结果表明,这种控制系统能很好地满足系统的性能指标,其对准时间很短,t_s≤0.14秒,并且具有较高的对准精度,σ≤0.01μm(微米)     

超高压汞灯的自校正调节方案研究

本文对最小方差自校正调节器在超高压汞灯控制中的应用做了研究。结果表明,这种应用有较显著的优点,其光强控制精度可达0<0.2%。