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半导体晶圆制造过程的复杂性和制造设备的高成本,要求在生产过程中严格控制周转时间和生产效率和生产品质。AUTO3是指派工、传输和下货全自动,使用管理信息技术代替人工控制,可以有效的提升半导体晶圆制造的生产能力,降低制造的周转时间及有效控制产品品质。  相似文献   
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