用于制造含有溶解的臭氧的水的设备

一种用于制造含有溶解的臭氧的水的设备，包括（A）用于供应超纯水的管道，通过该管道供应超纯水，（B）催化反应部分，该部分与用于供应超纯水的管道相连，并且在该部分中使得超纯水与氧化－还原催化剂接触，（C）过滤装置，通过该装置将在催化反应部分中被处理的超纯水过滤以及（D）用于溶解臭氧的装置，在该装置中自氧溶解进入从过滤装置排出的超纯水；以及一种用于制造含有溶解的臭氧的水的设备，包括用于制造超纯水的装置、用于溶解自氧的装置和催化反应部分，该用于制造超纯水的装置装备有利于紫外光进行辐射的装置，在该用于溶解息氧的装置中臭氧溶解进入由用于制超纯水的装置所制造的超纯水中，该催化反应部分装填有氧化－还原催化剂且被设置在利用紫外光辐照的装置和用于溶解臭氧的装置之间。在超纯水中含有的非常少量的会促进氧分解的物质被除去，所获得的含有溶解的臭氧的水尖在距离运输之后，其臭氧浓度很少降低，并且在水中溶解的臭氧的残余比例高。