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对硅烷热分解法制备多晶硅的工艺作了介绍,探讨了硅烷法制备电子级多晶硅的优势。硅烷CVD法所沉积的多晶硅,在电阻率、少子寿命、杂质含量等方面符合高纯多晶硅的要求,纯度不仅可以达到国标(GB/T 12963-2009)电子一级品的标准,还可以满足区熔用超高纯多晶硅的要求。合理控制反应条件、保持反应环境的高度洁净,能够得到均匀、致密的高纯多晶硅棒,可以作为区熔法生产单晶硅棒的原料。  相似文献   
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牛晓龙 《商》2014,(17):24-24
专业实习对于强调实务性的社会工作而言,必要性和重要性十分明显。本文将从内蒙古工业大学社会工作专业实习现状分析入手,通过在走访和调查所得的资料分析,探讨专业实习教学中的问题及其成因。从而为改善专业实习环境,完善实习培养机制,提供参考的依据,使得社工专业实习教学突破原有的困境。  相似文献   
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