ICP刻蚀技术及其在MEMS中的应用

ICP技术是微纳加工中的常用技术之一，由于在加工过程中的可控性较高，因此在MEMS的加工中有着越来越重要的地位。本文主要对硅基MEMS器件的刻蚀原理进行分析，并简要介绍在加工过程中如何对过程进行控制已达到想要的结果。     

数字信号处理课程教与学浅析

＂数字信号处理＂是通信电子类学生必修的一门专业基础课,该门课程理论繁杂,公式较多,成为通信电子类专业课程中较难学的一门专业课程。我们通过建立教学目标,优化教学内容,改进教学手段,充分利用综合实验环境,强化学生学习能力,增强实践环节,提高了学生的学习积极性,拓展了学生独立分析问题、解决问题的能力,并取得较好的教学效果。