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浅议半导体元件温度测量技术
作者姓名:
周国军
作者单位:
西华师范大学物理与电子信息学院
摘 要:
随着温度的增加,处理器的速度、最高工作频率等会下降。因此,掌握对半导体进行准确温度测量的技术是必须的。精确测量半导体器件的工作温度,主要有三种方法:光学法、物理接触法和电学法。
关 键 词:
半导体
温度测量
光学测量法
物理接触法
电学测量法
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