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浅谈多晶硅生产副产物四氯化硅的综合利用
作者姓名:陶崇花
作者单位:浙江精功新材料技术有限公司 浙江省杭州市 310018
摘    要:
近年来,在太阳能光伏电池行业发展的推动下,我国多晶硅生产行业也得到了大力发展。其中,当前我国多晶硅行业主要采用西门子法,这使得工艺生产中难免会产生腐蚀性较强、污染性较大的四氯化硅。因此,本文主要通过简要介绍四氯化硅,然后系统分析和探讨多晶硅生产副产品四氯化硅的综合利用方法。

关 键 词:多晶硅  四氯化硅  综合利用
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