化学溶液法制备超导薄膜的中间热处理技术

超导膜是一个方向的厚度远远小于1mm的一种超导体。超导膜分为超导薄膜和超导厚膜两个种类，而超导薄膜是厚度小于1μm的超导体。在用化学溶液法制备超导薄膜并研究采用低温热解和高温晶化这两种不同的热处理过程对超导薄膜结构和性质功能的影响，经过不断的实验研究，发现采用化学溶液法制备超导薄膜的中间热处理过程对超导薄膜的结构有着重要的影响，正确合理地选择热处理的温度和流程对晶粒生长起着积极的促进作用。