全无油金属膨胀式真空校准装置的设计

近些年英国、美国和德国均已将膨胀式校准系统列为国家级真空标准。笔者于1992年负责建成我省一等玻璃膨胀式真空校准装置。由于当时条件限制,该装置采用了有油旋片式真空泵和油玻璃扩散泵为主要真空获得设备,校准室采用了玻璃容器,容积仅能做到10升。