|
|||||
|
|
| 横河CS3000控制系统在多晶硅生产中的应用 | |
| 作者姓名： | 郭富东 杜俊平 |
| 作者单位： | 中国恩菲工程技术有限公司,北京,100038 |
| 摘 要： | 本文简述了改良西门子法生产多晶硅的工艺流程,结合横河CS3000控制系统的特点,详细介绍了2000吨/年多晶硅生产线DCS控制系统的总体设计方案及硬件和软件配置等.该系统自投运以来,运行很稳定、可靠,给生产企业带来了良好的经济效益. |
| 关 键 词： | CS3000 集散控制系统 多晶硅 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |