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| 国内多晶硅冷氢化技术应用研究 | |
| 作者姓名： | 鲍海林 |
| 作者单位： | 昆明冶研新材料股份有限公司,云南 曲靖,655000 |
| 摘 要： | 多晶硅在生产过程中会产生SiCl4(STC)，而SiCl4会对导致环境破坏。利用氢化将SiCl4转化为SiHCl3(缩写为TCS)，可以使SiCl4得到有效的利用，降低环境污染。 |
| 关 键 词： | 多晶硅 应用 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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