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超级电容器用炭电极材料的连续活化制备技术
摘 要:
成果摘要:该课题组粒径可控为微电子CMP多种用途提供了高质无污染、高纯、高浓度SiO2纳米磨料,建立了硅溶胶生长机理,采用控制粒子数多级分次生长等液面法,制备出所需粒径范围内的产品,实现粒径可控生长;运用阳-阴-阳三步离子树脂交换法,将硅溶胶中金属离子含量降至ppm级,实现了高纯。
关 键 词:
生长机理
控制技术
纳米磨料
CMP
粒径
金属离子含量
可控生长
树脂交换法
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