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| 二元光学元件制造初探 | |
| 作者姓名： | 朱永健 郑晖 |
| 作者单位： | [1]装备指挥技术学院基础部大学生一队,北京市,101416 |
| 摘 要： | 随着微细加工工艺和计算机技术的发展,二元光学元件的特征尺寸进一步减小.本文对dammann光栅的基础知识进行了一次介绍,并推导出了标量衍射效率,包括其解析式的通用方法,并详述了二元光学元件的常用制作工艺技术. |
| 关 键 词： | dammann光栅 制作工艺 光刻 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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