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| TCAD在半导体工艺课程虚拟实验中的应用 | |
| 引用本文： | 周郁明. TCAD在半导体工艺课程虚拟实验中的应用[J]. 安徽工业大学学报(社会科学版), 2015, 32(3): 109-110 |
| 作者姓名： | 周郁明 |
| 作者单位： | 安徽工业大学电气与信息工程学院,安徽马鞍山,243002 |
| 摘 要： | 半导体工艺是一门理论与实验结合紧密的课程,通过TCAD虚拟平台开展实验教学,可节约成本、减少实验时间,可增强教学的直观性、提高教学效果,还可激发学生学习兴趣,增强实践、创新能力。 |
| 关 键 词： | TCAD 半导体工艺 虚拟实验教学 |
The Application of TCAD in Simulated Experiments for Courses of Semiconductor Process |
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