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| 光致抗蚀剂用光产酸剂的发展趋势 | |
| 引用本文： | 王瑞.光致抗蚀剂用光产酸剂的发展趋势[J].化工管理,2015(7):102. |
| 作者姓名： | 王瑞 |
| 作者单位： | 国家知识产权局专利局专利审查协作江苏中心化学发明审查部,江苏 苏州,215000 |
| 摘 要： | 光致抗蚀剂是一类光敏高分子聚合物,受到光能照射时,分子内部发生聚合或分解反应,生成对某些溶剂可溶或不可溶的物质,微细加工中可利用这种特性来得到所需要的几何图形。本文对光致抗蚀剂用光产酸剂进行初步介绍,分析了光致抗蚀剂用光产酸剂的最新研究进展,并对今后的发展做了相关的预测与展望。 |
| 关 键 词： | 光致抗蚀剂 光产酸剂 |
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