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| 多晶硅太阳电池生产中PECVD的工艺与技术 | |
| 引用本文： | 王兴荣.多晶硅太阳电池生产中PECVD的工艺与技术[J].大陆桥视野,2017(18). |
| 作者姓名： | 王兴荣 |
| 作者单位： | 青海省聚能电力有限公司 |
| 摘 要： | 太阳能是一种清洁的可再生能源.以光伏效应为基础的太阳电池有着美好的应用前景.其中PECVD电池的制作工艺在高效低成本太阳电池的研究和生产中有着重要的地位.PECVD等离子增强化学气象沉积氮化硅减反射薄膜已经普遍应用于光伏工业中,目的是在晶体太阳电池表面形成减反射薄膜,同时达到了良好的钝化作用.氮化硅薄膜的厚度和折射率对电池的性能都有重要的影响,以此来提高多晶硅电池转换效率. |
| 关 键 词： | 多晶硅太阳电池 表面结构 PECVD |
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