多晶硅生产中废气处理工艺改造 |
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引用本文: | 马自玉.多晶硅生产中废气处理工艺改造[J].化工管理,2019(1):85-86. |
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作者姓名: | 马自玉 |
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作者单位: | 1.天津辰耀化学工程设计服务有限公司 |
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摘 要: | 多晶硅作为一种电子产业、太阳能应用产业中的常用材料,随着近年来的科技水平与产业发展实际,导致中国的多晶硅的需求量也逐渐增加。对此文章将结合多晶硅生产工艺流程,探究废气处理期间存在的问题与工艺改造的方法,期待能为产业发展提供参考。
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关 键 词: | 多晶硅 废气处理 工艺改造 |
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