MEMS流量传感器 |
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引用本文: | 齐立锋,刘智敏,陈冠中,徐兴烨,秦雪.MEMS流量传感器[J].中国电子商务,2012(14):110-111. |
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作者姓名: | 齐立锋 刘智敏 陈冠中 徐兴烨 秦雪 |
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作者单位: | 中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨,150001 |
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摘 要: | 上个世纪五六十年代,在各行各业大量需要测量出流量参数的背景下,各种流量传感器不断涌现。这几十年来,微机电系统(MEMS)也取得了非常重要的发展,传统的流量传感器也需要有更加高的精度,更加的集成化,更好的可靠度,因此MEMS流量传感器成为了重要的研究对象。本文对MEMS流量传感器的发展历程,测量原理,分类发展等内容作了必要的介绍,也对一些常用的MEMS流量传感器的特点进行了描述。在文章的最后部分,还给出了MEMS流量传感器的三个主要发展阶段,并且对各阶段的特征给出了介绍,对未来的发展给出了展望。
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关 键 词: | MEMS 流量传感器 进展 |
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