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| 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 | |
| 摘 要： | 中心简介中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心是中国科学院与嘉兴科技城共同成立的浙江应用技术研究与转化中心下级单位。其宗旨和目标是依托中科院雄厚的研发力量、人才优势和综合技术实力,结合嘉兴及周边地区发达的产业基础、灵活机制、创新体制以及强有力的政府支持,开展ALD薄膜生长设备、太阳能电池制造设备以及LED制造设备的技术研发与应用。提高中 |
| 关 键 词： | 仪器与设备 中国科学院 微电子 工程中心 沉积系统 嘉兴市 硅太阳能电池 产业化 硅太阳电池 原子层 |
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