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积塔半导体临港工厂迈出生产关键一步
摘    要:2019年12月28日,积塔半导体特色工艺生产线首台光刻设备搬入仪式在上海自由贸易试验区临港新片区积塔半导体厂区举行。这标志着积塔半导体从建设期向生产运营期迈出重要一步,为2020年底实现批量生产打下基础。

关 键 词:上海自由贸易试验区  批量生产  光刻设备  工艺生产线  半导体  运营期  临港  建设期
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