|
|||||
|
|
| 生产电子级多晶硅的影响因素 | |
| 作者单位： | ;1.国电内蒙古晶阳能源有限公司 |
| 摘 要： | 多晶硅在诸多领域被广泛的应用。目前改良西门子法以其节能、节省物耗、减少污染等优点被广泛应用于多晶硅生产中。多晶硅生产厂家现在大多只能生产出太阳能级多晶硅,而对电子级多晶硅的生产一直存在着技术瓶颈。文章从生产原料中的硅粉、生产工艺中的精馏工艺、尾气回收工艺、还原工艺分别对生产电子级多晶硅产品质量的影响作了详细地阐述。从工艺参数控制、原料及中间产物质量管控等方面着重加以论述。 |
| 关 键 词： | 多晶硅 电子级 原料 精馏 尾气回收 还原 |
Analysis of Factors Affecting the Productionof Electronic Grade Polysilicon |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | |