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量子集成电路的研制动态
作者姓名:闫军
作者单位:长春大学
摘    要:简要介绍国外近期在量子电子器件研究方面的动态和前景,包括半导体材料工艺和制造工艺方面的新进展。

关 键 词:集成工艺,量子效应,量子电子器件
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