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| 高温半导体材料碳化硅及其在微机电中的应用 | |
| 引用本文： | 徐毓龙,徐玉成.高温半导体材料碳化硅及其在微机电中的应用[J].电子商务,1999(11). |
| 作者姓名： | 徐毓龙 徐玉成 |
| 作者单位： | 西安电子科技大学 |
| 摘 要： | 简要介绍碳化硅的性质、制备、加工技术和它在恶劣环境下的微机电系统中的应用。 |
| 关 键 词： | 碳化硅(SiC) 工艺 微机电系统(MEMS) 高温传感器 恶劣环境 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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