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| 微机电系统及其发展 | |
| 引用本文： | 张乐莹,沈志勇.微机电系统及其发展[J].中国科技财富,2011(20). |
| 作者姓名： | 张乐莹 沈志勇 |
| 作者单位： | 1. 南京理工大学泰州科技学院 2. 国电泰州发电有限公司 |
| 摘 要： | 微机电系统（MEMS）是一个多学科交叉的前沿科学研究领域。本文介绍了微机电系统的组成、研究背景以及发展状况，最后分析了目前微机电技术存在的问题以及今后的发展方向。 |
| 关 键 词： | 微机电系统 加工工艺 MEMS |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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