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关于电子级多晶硅生产技术的研究
作者姓名:陈亚丽
作者单位:1.新特能源股份有限公司
摘    要:电子级多晶硅在电子工业生产中的应用相对广泛,和电子产品的电路级功能和二极管功能产生影响。基于此,电子级多晶硅制造企业需要保障产品的质量,为电子工业生产提供质量有保障的电子级多晶硅。文章从电子级多晶硅的生产工艺入手,对电子级多晶硅的生产技术进行分析,以期为制造企业提供理论参考。

关 键 词:电子级多晶硅  还原炉  精馏
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