| 扫描电镜纳米尺度测量的标准化研究 |
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| 引用本文： | 傅志强,郭俊诚,贺翠翠,赵江勇,刘锡贝. 扫描电镜纳米尺度测量的标准化研究[J]. 世界标准化与质量管理, 2012, 0(3) |
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| 作者姓名： | 傅志强 郭俊诚 贺翠翠 赵江勇 刘锡贝 |
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| 作者单位： | 天津出入境检验检疫局 天津300456 |
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| 摘 要： | 本文简要介绍了纳米尺度测量概况和扫描电镜在纳米测量中的主要应用,从扫描电镜测长用标准物质,扫描电镜计量检定规程和长度测量标准方法3个方面简述了纳米尺度测量方法的标准化概况及国内外研究现状,并对纳米尺度测量未来的发展做出了展望.
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| 关 键 词： | 纳米测量 扫描电镜 标准化 |
Studies on Standardization of Nanometer Scale Measurement by SEM |
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| FU Zhi-qiang , GUO Jun-cheng , HE Cui-cui , ZHAO Jiang-yong , LIU Xi-bei. Studies on Standardization of Nanometer Scale Measurement by SEM[J]. World Standardization & Quality Management, 2012, 0(3) |
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| Authors: | FU Zhi-qiang GUO Jun-cheng HE Cui-cui ZHAO Jiang-yong LIU Xi-bei |
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