RF MEMS电容耦合式开关设计原理分析

射频微机电(RF MEMS)是应用微机电技术加工的用于无线通讯的射频器件,正是RF MEMS技术的出现,使满足当代移动通讯和卫星通讯需要的微型电路芯片得以实现,移动通讯领域所要求的低功耗、超小型、高集成度刚好可以通过MEMS技术实现。在本文中,我们对商业化程度最高的微机电开关的结构,工作原理进行了分析,对其的重要特性"下拉效应"进行了分析。