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| 双层氮化硅膜晶体硅太阳能电池 | |
| 引用本文： | 马红娜,王通.双层氮化硅膜晶体硅太阳能电池[J].科技转让集锦,2012(3):8-8. |
| 作者姓名： | 马红娜 王通 |
| 作者单位： | 英利绿色能源有限公司,河北保定071000 |
| 摘 要： | 用Centrotherm管式PECVD设备,使用新型双层氮化硅膜沉积工艺,并对该工艺进行优化,使电池效率得到提升。 |
| 关 键 词： | 双层氮化硅膜 电池效率 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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