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| 基于半导体的工艺线设备配置及选型技术 | |
| 引用本文： | 胡伟,蔡颖岚,邓学文,赖忠良,唐代飞.基于半导体的工艺线设备配置及选型技术[J].设备管理与维修,2018(9). |
| 作者姓名： | 胡伟 蔡颖岚 邓学文 赖忠良 唐代飞 |
| 作者单位： | 重庆声光电有限公司 |
| 摘 要： | 半导体工艺根据产品采用不同的工艺路线,分析小规模特殊器件的工艺路线。根据产品器件需求配置相应的设备,满足生产适用性、技术先进性和经济合理性原 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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