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| ASM181T氦质谱检漏仪常见故障分析 | |
| 引用本文： | 刘朝晖.ASM181T氦质谱检漏仪常见故障分析[J].设备管理与维修,2009(1):32-34. |
| 作者姓名： | 刘朝晖 |
| 作者单位： | 艾默生(北京仪表)有限公司 100013 |
| 摘 要： | 阿尔卡特ASM181T氦检漏仪工作原理，离子源维护，机械泵故障及处理，复合分子泵润滑，质谱室及分子泵故障及处理。 |
| 关 键 词： | 氦检漏仪 分子泵 质谱室 维护 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
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