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| 化学气相沉积反应器共振问题研究与改善 | |
| 作者单位： | ;1.上海交通大学 |
| 摘 要： | 在生产过程中,化学气相沉积反应器内托负衬底的托盘由马达带动,按设定的转速以托盘中心为轴进行旋转,反应器会在马达和托盘达到某一转速附近时发生剧烈振动,即共振。生产过程中反应器的共振直接影响了衬底上沉积的薄膜质量。文章通过分析和试验,以调整地脚着地力来避开关键工艺转速时产生的共振,以减少产品报废,提高设备寿命。 |
| 关 键 词： | 化学气相沉积 托盘 旋转 共振 |
Research and improvement on the resonance of Chemical Vapor Deposition Reactor |
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