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| 招标预告 | |
| 摘 要： | 上海机电设备招标公司受用户委托,将于近期对下列平板显示研发中心主要设备进行国际公开招标。欢迎对此项目感兴趣并具有生产、供货能力的厂商尽快与我们联系,以便我们安排同用户技术交流。招标设备名称及主要技术规格:1.磁控溅射镀膜机五靶位,全部可进行射频和直流溅射。防止交叉污染。12英寸膜厚不均匀在5%之内,基片垂直或向下放置,基片加热温度350℃,基片旋转或往返移动。射频功率源两路输出,可同时溅射,最大射频功率达到2000瓦,反射小于5%。直流电源三路输出电压0至600伏可调,最大电流10安培。有膜厚在线检测仪器。四路气体,流量计控制。带有基片预处理室,进行等离子清洗。分子泵系统,抽速超过2000升/秒,30分钟达到3×10~(-4)Pa |
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