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| 一种微动系统设计和展望 | |
| 引用本文： | 闫庆武.一种微动系统设计和展望[J].中国市场,2006(14). |
| 作者姓名： | 闫庆武 |
| 作者单位： | 浙江理工大学 |
| 摘 要： | <正>在知识爆炸的今天,随着科学技术的迅猛发展,人们在物质探索方面已经达到了很高的水平。人们在不断探索宏观世界的同时,也在不断的探索微观世界,所以,微型系统和微动系统越来越重要,要求也越来越高。精密微动系统在半导体光刻、微型机 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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