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硅各向异性腐蚀技术
引用本文:王丰,吕平临.硅各向异性腐蚀技术[J].黑龙江商学院学报,2000,16(2):22-27.
作者姓名:王丰  吕平临
作者单位:[1]黑龙江商学院电子工程系 [2]黑龙江计算机总公司
摘    要:论述了硅各向异性腐蚀技术在国内外的水平和发展趋势,攻关成果的推广应用前景。

关 键 词:  各向异性腐蚀  硅杯结构  发展趋势
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