TSV通孔技术研究

介绍了TSV技术及其优势，针对TSV中通孔的形成，综述了国内外研究进展，提出了干法刻蚀、湿法刻蚀、激光钻孔和光辅助电化学刻蚀法( PAECE)等四种TSV通孔的加工方法，并对各种方法进行了比较，提出了各种方法的适用范围。     

射频源在刻蚀设备中的应用

介绍了射频源的工作原理,以及在刻蚀设备上的应用。通过自动匹配网络实现真空腔体内输出功率的大小。     

氮化硅的刻蚀及其它应用

氮化硅介质作为集成电路或半导体功率器件的介质层,具有掩蔽杂质沾污的作用,通过一系列试验研究,找到了氮化硅的干法、湿法刻蚀工艺,对半导体器件的性能有很好的提高,并且通过试验,还发现氮化硅具有透明耐摩擦的特性,可用于制作掩膜版的保护膜。     

学会共赢

在世界半导体产业，中微报导体称得上当之无愧的技术型领军者：其研发出的12英寸65纳米，40纳米到28纳米的等离子体介质刻蚀设备，已进入9个亚洲一流的半导体芯片生产线。而如今，全球只有美国，日本及欧洲的极少数几家年产值几十亿上百亿的跨国公司能制造这些设备。     

位置随动系统在ITO薄膜激光刻蚀设备中的运用

ITO薄膜激光刻蚀设备是由激光对附着在玻璃及PETFilm上的ITO薄膜实施剥离加工的精密尖端设备,与其他激光设备一样,在其工作过程中对激光的开关控制是很重要的一环。本文重点介绍了位置随动系统在控制激光器中的应用.以及此系统的优势所在。     

石英晶体离子刻蚀微调原理与应用

SMD石英晶体谐振器与石英晶体振荡器在现代通讯领域尤其数字家电产品中广泛应用。用实际机型探讨石英晶体元器件生产中刻蚀微调方式的原理与实践应用,以提高成品率和生产效率展开论述。     

塑料进气歧管接口功能概述及生产过程防堵方案详解

文章对塑料进气歧管上集成的各类通孔的功能及其堵塞所导致的失效后果进行了分析,并通过实例从工艺设计、工装设计、设备自动检测等方面详细解析塑料进气歧管上直管、"L"形管、焊接管等各类通孔堵塞的防错方案。     

塑料进气歧管接口功能概述及生产过程防堵方案详解

文章对塑料进气歧管上集成的各类通孔的功能及其堵塞所导致的失效后果进行了分析,并通过实例从工艺设计、工装设计、设备自动检测等方面详细解析塑料进气歧管上直管、“L”形管、焊接管等各类通孔堵塞的防错方案。     

900t移梁机吊具设计与优化

本文对已有的900t移梁机双线梁吊具进行分析,阐述了吊具存在的吊取范围小、变换吊杆位置不方便等问题。提出了通孔式吊具的方法,并将其应用于单线梁的吊取,再通过对吊具进行相应的计算和有限元分析,验证了此方法在不影响安全的情况下,进一步提高其适用范围的可行性,望本文可以对类似的改良设计提供参考。     

扫描隧道显微镜探针针尖的制作

扫描隧道显微镜探针针尖的加工方法有好多,最主要的是电化学腐蚀法、机诫成形法和粒子束刻蚀法等。本文利用不同方法制作出针尖,并探讨了针尖的制作技巧。     

田口方法在太阳能电池刻蚀工序中的应用

田口方法是日本著名质量工程学家田口玄一博士于20世纪70年代所创立的新的优化设计技术，广泛应用于技术开发、产品开发以及工艺开发等。1985年，由韩之俊等人将田口方法引入我国。并且首先应用于我国国防工业领域。对于提高产品研制质量、缩短产品研制周期、节省产品研制费用发挥了很大作用。本文介绍的是在太阳能电池刻蚀工序中运用田口方法优选工艺参数的一个实例。     

卫浴水箱的快速排水止水机构研究

文章介绍一种应用于卫浴设备水箱的快速排水机构。该排水机构位于水箱侧面底部,该处设有一排水口;一排水芯上设密封盘,密封盘的两面分别设有导杆和弹片,弹片上设有凸台;带密封垫的压盖,其中央有通孔,该压盖固定于排水孔外部;排水芯的弹片穿接于压盖的通孔和排水孔内;套接复位弹簧的导杆活动于固定在水箱一杆套中;所述压盖的通孔处还具有一可在所述密封盘远离密封垫时对所述凸台限位的卡扣。     

核电厂汽轮机跳机风险控制与管理方法探讨

文章针对汽轮机的各种跳机风险，探讨了保护设计、设备安装与设备调试各阶段汽轮机跳机风险管理的重点环节；以宁德核电1号机汽轮机为研究对象，分析了当前汽轮机跳机的各种风险，提出了控制各种风险的应对措施与管理方法，对我国核电厂相似机组汽轮机跳机的风险控制与管理具有良好的借鉴作用。     

地基处理技术及方法

本文介绍软土地基的特征，提出了各种软弱地基的处理方法。     

高速公路桥梁病害分析及加固处理

对高速公路混凝土桥梁的各种病害进行了系统的分析，并提出了相应的加固方法。     

地下水有机污染修复技术探索

随着工业化进程的加快，越来越多的化学污染物通过各种方法渗入土壤体系，使得地下水受到污染。现如今世界范围内地下水污染严重，直接或问接地威胁到人类的健康，因此地下水的水体修复引起了公众的关注。本文基于受污染地下水水体修复技术的相关文献，针对目前地下水污染的现状，提出将各种修复技术划分为四大类，即物理法修复技术、化学法修复技术、生物法修复技术和复合法修复技术，阐释了各种方法的技术原理和特点，并对地下水污染修复技术的研究前景和技术改进进行了展望。     

浅谈反射波法在桩基检测中的应用

介绍了反射波法检测桩基完整性的基本原理、适用范围和测试方法，通过对检测波的识别与判断，分析了各种情况下的判读方法，提出了反射波法在桩基检测上应注意的几个主要问题。     

完善以量化考核为基础的高等职业院校科研激励机制

本文分析了高等职业院校科研工作的特点，概括了当前高职院校科研工作量化考核的主要内容，提出应从实际出发，创新量化考核方法，针对性地解决存在的各种问题，推动高等职业院校科研工作持续、健康发展。     

大体积混凝土施工裂纹控制管理技术探讨

大体积混凝土施工技术难度大，若施工方法不当，易出现结构问题及混凝土的各种裂纹，本文从技术管理的角度提出了解决方案。     

M公司生产线配送补货方法研究

本文探讨了各种补货方法的优势劣势。基于对整个补货作业流程的分析，建立了成本计算模型，计算在每个零部件在不同补货方法下的运营成本，并提出了应用该成本作为决定最优补货方法的策略。