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化学机械抛光(CMP)是半导体行业中十分有效的晶片平面化工艺,但CMP机制研究亟待深入。构建了直角坐标系下的铁磁流体CMP雷诺方程模型,使用边界处理灵活、有效解决奇点问题的有限元方法对模型进行了数值模拟,考察了电流导线产生的非均匀磁场和抛光参数对CMP过程中晶片表面压力分布的影响。研究发现:电流导线产生的非均匀磁场使得靠近电流导线一边的晶片表面出现负压区域,与已有文献结果相一致;当磁场强度在一定范围内时,晶片表面的高压区域会随着磁场强度的增大而远离电流导线;晶片中心抛光液膜厚、倾角、仰角等抛光参数对由磁场压力引起的载荷和力矩都有一定影响,在铁磁流体CMP过程中应适当选取。 相似文献
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为更深入了解铁磁流体液滴的流动机制,建立理论模型和二维数值模型,模拟并考察不同大小的两个铁磁流体液滴之间的形态变化以及相互作用。采用耦合了流体体积(VOF)和水平集(Level Set)的界面追踪方法(VOSET)来捕捉两相界面的演化规律,考察初始分离距离、磁场施加角度以及磁场强度这三个因素对两个铁磁流体液滴聚结行为的影响。数值模拟结果表明,初始分离距离存在一个阈值,当初始分离距离大于该阈值时,两个液滴不发生聚结,反之,两个液滴发生聚结;当磁场方向为水平或者45°时,磁场会阻碍两个液滴聚结,而当磁场方向为垂直向上时,磁场会促进两个液滴聚结,并且随着磁场强度的增大,阻碍或促进作用相应增强。 相似文献
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空间环境模拟技术是航天技术的重要组成部分,涉及到空间科学、真空技术、低温技术、光学技术、热物理技术、自动控制技术、机械工程技术等,是利用空间环境模拟设备在地面模拟太空环境,如真空、低温、冷黑、太阳辐照、电子、微流星、质子、原子氧、磁场、微重力等,以便延长航天器的工作寿命,提高航天器发射的可靠性。我国空间环境模拟技术的发展是从无到有,在各个阶段都达到了当时的国际先进水平。空间环境模拟技术30多年的发展中,决策科学的应用对空间环境模拟技术的发展起到了重要的作用。一、战略性决策奠定了发展方向1958年… 相似文献
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现代试井分析的核心是模型分析,即通过不稳定试井分析,建立符合储层动态表现的试井模型,关井压力恢复曲线的分析是不稳定试井的主要方法之一。其主要分析以下几方面:储层渗透性空间的类型——均匀介质、双重孔隙介质、双重渗透率介质;储层的参数——渗透率,有效厚度,流动系数,储能参数,双重介质的储能比和串流系数,双渗介质的地层系数比,储层的平面分布状态及参数——井周围不渗透边界的形态及距离,复合地层的流动系数和储能参数的变化形态及参数比,完井状态及参数——井底在钻井完井过程中受到的伤害及表皮系数,压裂形成的裂缝形态及参数:裂缝半长,导流能力,裂缝表皮压力导数曲线特征是辨别储层特征的主要依据,在不稳定压力的导数曲线中,都存在相应的特征线,可以细致地描述储层特征。 相似文献
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直接由毕奥-萨伐尔定律的计算公式,在更为普遍的情况下,计算出了圆形线电流在全空间的磁场分布,并进一步讨论了其在中心轴线上、平面内及远区的磁感应强度。 相似文献
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本文对三种磁放大器的电流放大倍数进行了分析,利用磁路与电路的对偶原理,给出了磁放大器的框图及电流放大倍数的统一表达式,并利用磁路定律对所求放大倍数进行了验证。 相似文献
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通过调节沉积电流密度动态地控制钴纳米线择优生长方向,调节沉积液pH值观察其磁各向异性特点,并比较它们的磁性能。利用氧化铝模板直流恒电流电化学沉积方法,调节电流密度和pH值的大小,制备出一系列钴纳米线阵列,并利用XRD衍射仪和VSM振动磁强计测量其磁性能,包括矫顽力、剩磁比和各向异性的特点。通过调节电流制备出了包括[101]择优取向、[100]择优取向及非晶态等结构的一维钴纳米线阵列,重点分析了具有[101]择优取向纳米线阵列的特点;通过调节溶液pH值得出了纳米线磁各向异性的特点,实现了工艺参数对纳米线的结构和性能的控制,总结出了钴纳米线对于[101]择优晶向的易磁化规律。 相似文献
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本文用有限元法对具有磁性腻子槽楔电机的气隙和槽内磁场进行了计算和节能分析,由此得到的结论,对分析和计算该类电机是有用的。 相似文献
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论述了三相感应电动机电磁设计过程中 ,对于转子槽上部为半圆形的闭口槽 ,当求取其槽上部比漏磁导时 ,转子电流假设值的一种实际计算方法 相似文献
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电磁力的作用和电磁转矩的产生 总被引:2,自引:0,他引:2
旋转电机中电磁转矩的产生 ,可以从作用在磁场内磁性物质单位体积上的电磁力出发加以说明。考虑到电机转子的实际结构 ,电磁力除作用在转子绕组上之外 ,更主要的是作用在转子铁心的表面和内部。为此 ,对常见结构形式的转子上电磁转矩的产生原理给出了定性、直观的说明。 相似文献
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磁防垢除垢技术研究与应用新进展 总被引:3,自引:0,他引:3
回顾了磁防垢除垢技术的发展历程,介绍了磁防垢除垢技术的作用效果和应用情况,分析了磁防垢除垢技术研究现状和存在的问题,跟踪报道了磁防垢除垢技术研究的新进展。 相似文献
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分析了高磷铁矿石降磷的重要性,并且叙述了某高磷铁矿石的主要工艺矿物学特征、磷赋存状态及嵌布特征。通过工艺研究,最后选择弱磁-强磁-摇床精选的工艺流程,加强矿物的细磨,是铁矿降磷和提高精矿指标的重要措施。 相似文献
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针对建筑业常见的利益冲突问题及对抗性的项目文化,提出了建设基于信任、合作的项目文化的重要意义。从项目文化磁场的角度分析了项目文化的形成机理,得出通过项目文化建设来加快制度建设与实施新型项目管理模式的可行性,并以此为基础,从项目核心文化建设、组织模式变革及信息技术应用、组织文化塑造等方面提出了项目文化建设的对策及建议,旨在促进传统项目管理模式的变革,提高项目管理水平。 相似文献