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1.
基于半导体的工艺线设备配置及选型技术
胡伟
蔡颖岚
邓学文
赖忠良
唐代飞
《设备管理与维修》
2018,(9)
半导体工艺根据产品采用不同的工艺路线,分析小规模特殊器件的工艺路线。根据产品器件需求配置相应的设备,满足生产适用性、技术先进性和经济合理性原
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