硅烷热分解方法中温度对硅棒质量的影响

针对采用CVD反应器的硅烷热分解工艺制备棒状高纯多晶硅的过程进行了研究。理论上研究了硅烷受热分解的过程,以及温度梯度对硅沉积的影响。从应用角度出发,研究了制备过程中棒状多晶硅致密性、能耗、硅烷转化率等方面的影响因素。通过降低杂质和改善硅棒外观,使生产的多晶硅棒达到了区熔级的标准,并成功区熔成晶。提出了在制备工艺中尚待优化的问题,指出采用侧面间接进气方式有利于沉积的均匀性和致密性。