国内多晶硅冷氢化技术应用研究

多晶硅在生产过程中会产生SiCl4(STC),而SiCl4会对导致环境破坏。利用氢化将SiCl4转化为SiHCl3(缩写为TCS),可以使SiCl4得到有效的利用,降低环境污染。