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MEMS传感器种类繁多,发展迅猛,应用广泛。该文介绍了MEMS传感器的概念及特点,并对MEMS的具体应用进行了简要阐述。从部分新的MEMS技术在军事及航空航天方面简述了对未来应用的展望。MEMS技术正处于高速发展,潜在市场巨大。 相似文献
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