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贸易经济
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1999年
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1
1.
跨世纪的新技术——微机电系统(MEMS)
总被引:2,自引:0,他引:2
张兴
郝一龙
李志宏
王阳元
《电子商务》
1999,(4)
微机电系统是一个新兴的技术领域,是一个跨世纪的新学科。它将电子系统和外部世界有机地联系起来,它不仅可以感受运动、光、声、热、磁等自然界信号,并将这些信号转换成电子系统可以认识的电信号,而且还可以通过电子系统控制这些信号,进而发出指令,控制执行部件完成所需要的操作。本文主要就MEMS技术的特点、分类、研究领域、加工工艺、用途以及今后的发展趋势等问题进行简要的讨论和分析。
相似文献
2.
硅表面牺牲层技术
郝一龙
李志宏
张大成
武国英
《电子商务》
1999,(12)
着重介绍了硅MEMS加工技术中的表面牺牲层技术及其应用,并给出了我国MEMS 发展的概况。
相似文献
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