跨世纪的新技术——微机电系统(MEMS)

微机电系统是一个新兴的技术领域,是一个跨世纪的新学科。它将电子系统和外部世界有机地联系起来,它不仅可以感受运动、光、声、热、磁等自然界信号,并将这些信号转换成电子系统可以认识的电信号,而且还可以通过电子系统控制这些信号,进而发出指令,控制执行部件完成所需要的操作。本文主要就ＭＥＭＳ技术的特点、分类、研究领域、加工工艺、用途以及今后的发展趋势等问题进行简要的讨论和分析。     

硅表面牺牲层技术

着重介绍了硅ＭＥＭＳ加工技术中的表面牺牲层技术及其应用，并给出了我国ＭＥＭＳ 发展的概况。