微机械力敏传感器及其发展动向

微机械加工技术的出现把传感器，特别是力敏传感器，推向一个新的发展阶段。微机械力敏传感器以其小型、廉价和集成化等优点已成为力敏传感器发展的主流。本文介绍微机械压力传感器、加速度传感器和微机械陀螺的现状及其发展动向。