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由于我国信息技术飞速发展和市场经济急剧演变,多晶硅的生产技术也是日益的向前发展着,而且渗透到人们生活和工作中的各个方面,已是不可缺少的一部分了。本文根据多晶硅生产中副产物的的综合循环利用,完善升级沉积工艺以及升级与创新新型沉积配置对多晶硅在生产过程中的节能降耗产生的作用。同时还分析了当前国内广泛先采用和发展完善的生产过程优化技术投入到多晶硅生产中去,从而能够有效的减少多晶硅的制备费用。 相似文献
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