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随着半导体和LED的应用范围越来越广泛,高纯氨市场需求持续增加,为获取更多经济效益,众多气体制造企业和相关研究机构针对高纯氨生产工艺技术持续加大研发力度。现阶段已有完全过滤吸附型、完全精馏型、过滤吸附精馏型等多种生产工艺技术。基于此,文章以上述三种高纯氨生产工艺技术进行简要探究,并对不同生产工艺技术在产品纯度、纯化过程、充装过程等方面进行对比分析。  相似文献   
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