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氮化硅介质作为集成电路或半导体功率器件的介质层,具有掩蔽杂质沾污的作用,通过一系列试验研究,找到了氮化硅的干法、湿法刻蚀工艺,对半导体器件的性能有很好的提高,并且通过试验,还发现氮化硅具有透明耐摩擦的特性,可用于制作掩膜版的保护膜。 相似文献
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ITO薄膜激光刻蚀设备是由激光对附着在玻璃及PETFilm上的ITO薄膜实施剥离加工的精密尖端设备,与其他激光设备一样,在其工作过程中对激光的开关控制是很重要的一环。本文重点介绍了位置随动系统在控制激光器中的应用.以及此系统的优势所在。 相似文献
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本文介绍了离子束刻蚀设备的性能及最佳工作参数的选择,石英谐振器设计,频率调整和封装形式,以及等效参数测量,振动冲击试验和储存老化试验。最后介绍了高基频石英谐振器在低噪声微波振荡器、调频振荡器和宽带滤波器中的应用,取得了满意的结果。 相似文献
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吕传明 《当代经理人(中旬刊)》2011,(7):1-1
在世界半导体产业,中微报导体称得上当之无愧的技术型领军者:其研发出的12英寸65纳米,40纳米到28纳米的等离子体介质刻蚀设备,已进入9个亚洲一流的半导体芯片生产线。而如今,全球只有美国,日本及欧洲的极少数几家年产值几十亿上百亿的跨国公司能制造这些设备。 相似文献
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段宗涛 《中国高新技术企业评价》2010,(14):74-75
SMD石英晶体谐振器与石英晶体振荡器在现代通讯领域尤其数字家电产品中广泛应用。用实际机型探讨石英晶体元器件生产中刻蚀微调方式的原理与实践应用,以提高成品率和生产效率展开论述。 相似文献
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介绍了一种应用离子束刻蚀技术制作的三次泛音355MHz高频反台晶体谐振器,制作2.1305GHz温补晶体振荡器(TCXO)的方法。经测试,该温补晶体振荡器性能优良,且体积和功耗都较小,适用于导弹、无人机、卫星等飞行器。 相似文献
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