通信领域中的MEMS器件及发展动态

微电子机械系统(MEMS)技术在通信领域中有着广泛的应用前景，本文介绍了在无线通信和光通信中的MEMS器件如MEMS电感、电容、开关、滤波器、光检测器等MEMS器件的原理、结构和发展概况，指出了MEMS器件发展所面临的问题和方向。     

基于MOEMS技术光开关及控制系统研究

微光机电系统（MOEMS）技术是全光网络光开关的关键技术。文章介绍了MOEMS技术和MOEMS光开关,分析了典型二维（2D）和三维（3D）微反射镜MOEMS光开关的实现机理与特性,并介绍了静电驱动、二维微反射镜MOEMS光开关的控制系统,以期对MOEMS光开关的研究者提供参考价值。