变频技术在TFT-LCD行业超纯水制备过程中的应用

文章论述了变频技术在TFT-LCD行业超纯水制备过程中的应用,包括变频改造的原理、实施方案及变频效果,对工程经济进行分析。变频技术应用后,水泵缓慢开启,频率缓慢升至所需频率,有效保护设备;反渗透和混床设备供给泵运转频率由50Hz下降至41~43Hz,节电率约30%,生产每立方超纯水节电量为0.88k W·h,年节约金额320.7万元,投资回收周期约0.5年。