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| 使用在线检测仪检测超薄电子玻璃的产品质量 | |
| 作者姓名： | 丁锐 吴惊涛 |
| 摘 要： | 正超薄电子玻璃是指厚度在0.1~1.1mm范围内的电子玻璃,是可应用于电子、微电子、光电子领域的一类高技术产品,主要用于制作集成电路以及具有光电、热电、声光、磁光等功能元器件的玻璃材料。基板玻璃是目前在微电子、光电子和新能源等高新技术中应用最广、发展最快的特种玻璃之一。主要包括液晶和太阳能电池用基板;存储器(磁盘和光盘)用基板;光掩膜基板(又称制版玻璃),这是集成电路制作过程中制备光 |
| 关 键 词： | 玻璃基板 在线检测仪 光电子领域 光掩膜 特种玻璃 产品质量 浮法玻璃 磁光 高技术产品 玻璃质量 |
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