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解密光刻机巨头ASML的崛起之路
作者姓名:周琦
作者单位:《中国经济周刊》
摘    要:华为、芯片、断供……一系列事件,把一家以前只有少数业内人士才熟悉的ASML(阿斯麦)推向前台。上世纪80年代,ASML只是飞利浦旗下的一家小公司。如今,ASML不仅将昔日的光刻机大国美国、日本拉下神坛,还垄断了全球7nm及以下工艺的EUV光刻机技术。

关 键 词:光刻机  EUV光刻  华为  飞利浦
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