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| 电子类净化厂房测试调整中易出现 | |
| 作者姓名： | 赵亮 |
| 作者单位： | [1]中国电子科技集团公司第十三研究所麦特达微电子,河北石家庄,050000 |
| 摘 要： | 室内噪声超过允许值的主要原因是通风机、水泵等噪声的震动较大;风管中流速过高或局部构件造成的再生噪声较大;经消音处理的空气又通过噪声源以及消声器未达到预期效果等.因此需要对其进行测定分析并提出改进措施. |
| 关 键 词： | 洁净室 风量 洁净度 状态参数 压差 |
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